Технология производства электровакуумных приборов. Термовакуумная обработка. Экспериментальное

Рассмотрены физико-химические основы и проанализирован процесс термовакуумной обработки электровакуумных приборов. Приведено описание специфических особенностей магнетрона как электровакуумного прибора для генерирования высокочастотного излучения. Перечислены особые свойства используемых материалов. Даны характеристики и указано своеобразие операций технологического процесса термовакуумной обработки магнетронов. Для студентов, обучающихся по направлениям подготовки 'Наноинженерия' и 'Электроника и наноэлектроника' в рамках дисциплины 'Термовакуумные процессы и оборудование'. Материал пособия можно использовать студентам и аспирантам соответствующего профиля при выполнении научно-исследовательских работ.