Нанотехнологии в микроэлектронике. Нанолитография - процессы и оборудование

"В учебно-справочном руководстве проведен анализ возможностей, особенностей, ограничений и областей применения различных литографических и нелитографических методов наноструктурирования для создания топологии ИС с элементами субстонанометрового диапазона. Показаны основные физические и химические механизмы и ограничения, лежащие в основе оптической нанолитографии, нанолитографии на экстремальном ультрафиолете, наноимпринт литографии, электронной нанолитографии и вакуумного газоплазменного травления.
Приведено современное производственное оборудование различных видов нанолитографии, его операционные и конструкционно-технологические параметры, технологические и экономические характеристики реализуемых процессов.
Руководство для университетов с обучением по специальностям: 210601 'Нанотехнология в электронике', 210104 'Микроэлектроника и твердотельная электроника', 222900 'Нанотехнология и микросистемная техника', 210600 'Нанотехнология', 210100 'Электронное машиностроение', а также для инженеров и научных работников."