Наноэлектроника. Учебное пособие

Рассмотрены основные направления развития современной электроники, использующей физические эффекты, имеющие место в наноструктурах. Проанализированы пути перехода от микро- к наноэлектронным приборам, приведены описания нанотехнологических процессов, элементов и приборов нано электроники и новых материалов, с которыми тесно связано развитие приоритетной области нанонаукн и нанотехнологии. Для студентов по направлениям подготовки 'Прикладные математика и физика', 'Электроника и наноэлектроника', 'Нанотехнологии и микросистемная техника', а также для аспирантов и научных работников, специализирующихся в области наноэлектроники и нанотехнологии. 2-е издание.