Наноэлектроника: учебное пособие

"Рассмотрены основные направления развития современной электроники, использующей физические эффекты, имеющие место в наноструктурах. Проанализированы пути перехода от микро- к наноэлектронным приборам, приведены описания нанотехнологических процессов, элементов и приборов наноэлектроники и новых материалов, с которыми тесно связано развитие приоритетной области нанонауки и нанотехнологии.

Для студентов по направлениям подготовки 'Прикладные математика и физика', 'Электроника и наноэлектроника', 'Нанотехнологии и микросистемная техника', а также для аспирантов и научных работников, специализирующихся в области наноэлектроники и нанотехнологии."