Химико-технологические основы микро- и наноэлектроники. Учебное пособие

Рассматриваются история и технологические основы электроники, свойства химических элементов и их соединений, основные технологические процессы микро- и наноэлектроники, основные виды нанотехнологий и их изделий, а также нанотехнологическое оборудование. Для студентов всех форм обучения по направлениям: 11.03.01 'Радиоэлектроника', 11.03.02 'Инфокоммуникационные технологии и системы связи', 11.03.03 'Конструирование и технология электронных средств', 11.03.04 'Электроника и наноэлектроника', а также учащихся колледжей электронного и радиотехнического профилей.