Электронные измерения в нанотехнологиях и микроэлектронике

Первое в России издание по самым современным электронным электро- и радиоизмерениям и измерительным приборам, применяемым в научных исследованиях, тестировании и испытании устройств и систем микроэлектроники нанотехнологий. Впервые подробно описаны средства измерений, применяемых в условиях крупносерийного микроэлектронного произв.