Электрохимические процессы в технологии микро- и наноэлектроники. Учебное пособие

Книга посвящена научно-технологическим основам электро­химических процессов, применяемых в технологии микро- и наноструктур, которые интенсивно развиваются в последнее время. В пособии приведены краткие сведения о законах и положениях теории электродного равновесия и электрохимической кинетики, рассмотрены механизмы формирования твердотельных микро- и наноструктур, особенности получения и применения пористого кремния, описаны электрохимические процессы в технологии МЭМС, процессы формирования барьерных и пористых анодных оксидов и их применение в микро- и нанотехнологии, процессы анодного окисления с помощью сканирующего зондового микроскопа, катодного осаждения металлов и полупроводников, их применение в технологии УБИС, МЭМС и нанотехнологии. Предназначено для студентов, аспирантов, научных работников и инженеров.